機器名 | 品番 | メーカー | 数 |
---|---|---|---|
走査電子顕微鏡(SEM) | VE-8800 | (株)キーエンス | 1 |
卓上走査電子顕微鏡(SEM) | JCM-7000 | 日本電子(株) | 1 |
X線元素分析装置 (エネルギー分散型X線元素分析装置) |
INCAxact検出器 | オックスフォード・インストゥルメンツ(株) | 1 |
レーザー顕微鏡 | VK-8500 | (株)キーエンス | 1 |
レーザー顕微鏡 | VK-X3000 | (株)キーエンス | 1 |
測定顕微鏡 | MM-400 | Nikon | 2 |
3D形状測定機 | VR-3000 | (株)キーエンス | 1 |
高精度レーザー測定器 | LT-9010M | (株)キーエンス | 1 |
光沢度計 | ND-11 | 日本電色工業(株) | 1 |
デジタルマイクロスコープ | VHX-600 | (株)キーエンス | 1 |
VHX-950F | (株)キーエンス | 3 | |
VHX-1000 | (株)キーエンス | 1 | |
VHX-5000 | (株)キーエンス | 1 | |
VHX-6000 | (株)キーエンス | 2 | |
VHX-7000 | (株)キーエンス | 1 |
SEMでは細く絞った一本の電子線で視野を走査します。めっき皮膜の粒子状態を観察することができます。
また、分析装置を用いることで試料中の含有元素を調べることが出来ます。成分が未知な試料に含まれる元素を検出することが出来ます。
めっき後のエリアを測定します。通常は物体から離れるほど小さくなり、逆に近づくほど大きく結像します。その為、測定箇所の個人差や熟練度の差によるバラツキや誤差が生じます。
しかし、テレセントリックレンズにより距離に関わらず同じサイズで結像する為、安定した測定が出来ます。
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